稀土拋光粉是一種非常精細的氧化物，具有在拋光過程中去除表面缺陷并產生光滑表面的能力。粗糙的拋光粉不適合使用，一定要磨到不劃傷表面的細度。較好的方法是使草酸鹽、碳酸或氫氧化物沉淀，然后煅燒成氧化物。煅燒溫度剛好足以分解沉淀物，同時防止燒結和晶體的快速生長。煅燒后，通常進行第二次研磨和煅燒。

  要制備較為好高效的稀土拋光粉，關鍵是在制備過程中選擇合適的中間體和合理的工藝條件，改善稀土拋光粉的理化性能。原料為氟碳鈰礦和稀土氫氧化物(富含鈰)，稀土鹽類有氯化稀土、草酸稀土、碳酸稀土等。從制備技術上看，可分為兩類：一類是以稀土精礦為原料的固相反應法；從礦石中直接制備拋光粉，可以省去復雜的化學提取過程，降低生產成本。比如以氟碳鈰礦為原料，先煅燒再研磨，可以得到較好的拋光粉。礦石中的氟和硅對保證產品的拋光效果起著重要作用。二是以稀土可溶性鹽為原料的沉淀-煅燒法。在沉淀法中，有很多種方式，通過摻入化學成分來提高拋光性能比較合適，如添加氟硅酸共沉淀拋光粉，添加硅含量高的硅灰石拋光粉等。這些工藝和產品在60年代和70年代發展良好。然后開發了一些含氟、硅等元素的產品。從20世紀80年代到90年代，除了一些零星的報道外，還停留在稀土精礦的制備過程中，這方面的工作做得很少。主要產品是低拋光，高拋光產量小。這種拋光粉在制備技術和市場上都是成熟的。但是，與國外相比，拋光粉的生產還有很大差距，特別是90年發的聚氨酯高速拋光粉。國內大多數拋光粉產品不能滿足其應用要求。為了保證拋光質量，大多數企業采用進口拋光粉。另外，新近出現的附壁效應在稀拋光粉技術的精密氣流分級中的應用報道較少。